上海拓精工業(yè)測定儀器有限公司
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鎢燈絲掃描電鏡
蔡司 EVO 掃描電鏡
模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用。在生命科學(xué)， 材料科學(xué)， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，EVO都可以根據(jù)您的要求量身定制。
①顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案
②使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
③對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能
④可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
便捷的可用性：
簡單易學(xué)，減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持，需要自動(dòng)化工作流程，以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的操作。
圖像質(zhì)量：
EVO擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
智能導(dǎo)航與成像：
大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
蔡司導(dǎo)航相機(jī)：
相機(jī)可以安裝在倉室前方，以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機(jī))；或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機(jī))，利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置， 并在整個(gè)樣品測試過程中導(dǎo)航。
自動(dòng)化智能成像：
EVO實(shí)現(xiàn)了對樣品批量自動(dòng)、無人值守的圖像采集。能夠自定義邊界區(qū)域，自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
使用六硼化鑭電子發(fā)射器獲得圖像:
六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:
1、在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易。
2、在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率。
技術(shù)參數(shù)：
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蔡司EVO 10
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蔡司EVO 15
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選擇EVO 10（可選配BSD和EDS）
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EVO 15增加了對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式
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最大樣品高度
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100 mm
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145 mm
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最大樣品直徑
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230 mm
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250 mm
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電動(dòng)載物臺行程XYZ
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80 x 100 x 35 mm
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125 x 125 x 50 mm
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高真空模式 (HV)
導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 |
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可變壓力模式 (VP)
不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析
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擴(kuò)展壓力模式 (EP)
含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像 |
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EVO 應(yīng)用案例
生產(chǎn)與裝配企業(yè)：
質(zhì)量分析/質(zhì)量控制；失效分析/金相分析；清潔度檢查；顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)；非金屬夾雜物的分析。
電子半導(dǎo)體：
目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池；銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究；金屬腐蝕研究 ；斷面失效分析；Wire bonding線腳檢查；電容表面成像。
鋼鐵和其它金屬：
對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學(xué)和結(jié)晶學(xué)進(jìn)行成像和分析；相、顆粒、焊縫和失效分析。
原材料：
地質(zhì)樣品的形態(tài)、礦物學(xué)和成分分析；對金屬、斷裂和非金屬夾雜物的結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像和分析；微粉化和造粒過程中原料化學(xué)成分和活性成份的形態(tài)和成分分析。
材料科學(xué)研究：
用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征。
生命科學(xué)：
對植物、動(dòng)物和微生物的研究。
司法鑒定：
槍擊殘留物（GSR）；油漆和玻璃分析；鈔票和硬幣偽造；頭發(fā)和纖維比較；法醫(yī)毒理學(xué)。
